400-092-5117
HORIBA GR-300 系列 晶圓背面冷卻系統(tǒng) 簡介
產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品品牌
HORIBA堀場
產(chǎn)品類型
質(zhì)量流量計/控制器
可售賣地
面議
價格區(qū)間
面議
供貨總量
面議
售后服務(wù)
完善
產(chǎn)品簡介
GR-300 系列可以控制用于冷卻晶圓背面的氣體，晶圓通過靜電卡盤系統(tǒng)固定到位。
GR-300 系列的穩(wěn)定性和精確性使其成為控制晶圓冷卻系統(tǒng)中氦氣和氬氣流量的理想選擇。
HORIBA GR-300 系列 晶圓背面冷卻系統(tǒng)(GR312) 介紹
型號：GR312
壓力控制范圍：1-100%
壓力：13.33KPA(100Torr)
壓力精度：±0.5%FS
壓力輸出：0-10VDC
電源：±15VDC
壓力控制范圍：1-100%
壓力：13.33KPA(100Torr)
壓力精度：±0.5%FS
壓力輸出：0-10VDC
電源：±15VDC
HORIBA GR-300 系列 晶圓背面冷卻系統(tǒng) 詳情介紹
優(yōu)點：
壓力控制更加穩(wěn)定和精確
即使壓差非常低，也使用高精度壓電閥來控制壓力。安裝了一個高精度的壓力傳感器，用于測量<1%F.S范圍內(nèi)的出口壓力。
質(zhì)量流量傳感器（可選）
通過應(yīng)用HORIBA STEC 質(zhì)量流量產(chǎn)品中成熟的流體控制技術(shù)，該產(chǎn)品能夠?qū)崿F(xiàn)微小的差壓控制，并添加氣體流量監(jiān)測（帶質(zhì)量流量傳感器）以實現(xiàn)自診斷功能。
符合 RoHS 標準
GR-300系列使用不破壞環(huán)境且符合最新RoHS法規(guī)的零件
HORIBA GR-300 系列 晶圓背面冷卻系統(tǒng)產(chǎn)品規(guī)格
關(guān)于進佳儀器
上海進佳科學(xué)儀器有限公司，擁有多個國外儀表行業(yè)品牌的授權(quán)代理證，旗下每一個品牌均歷經(jīng)市場的考驗。公司團隊擁有豐富的從業(yè)經(jīng)驗以及扎實的專業(yè)知識，對各個品牌的產(chǎn)品優(yōu)勢和市場定位有深入了解。公司始終秉持以客戶為中心的理念，致力于為客戶提供全方位、個性化的服務(wù)解決方案。公司代理品牌
 |
 |
 |
 |
 |
 |
 |
 |
 |
 |
HORIBA GR-300 系列 晶圓背面冷卻系統(tǒng) 相關(guān)搜索
相關(guān)類目
相關(guān)標簽
進佳儀器為您提供 HORIBA GR-300 系列 晶圓背面冷卻系統(tǒng) 產(chǎn)品的相關(guān)參數(shù)、報價費用、價格行情、批發(fā)及供應(yīng)信息，想要獲取 HORIBA GR-300 系列 晶圓背面冷卻系統(tǒng) 優(yōu)惠采購價，可聯(lián)系我們！
HORIBA GR-300 系列 晶圓背面冷卻系統(tǒng) 相關(guān)產(chǎn)品
HORIBA堀場壓力不敏感型數(shù)字式質(zhì)量流量控制器SEC-Z700X
HORIBA QL系列微孔系統(tǒng)
HORIBA IR-400 用于腔室清洗終點監(jiān)測的高級氣體監(jiān)測儀
日本HORIBA堀場質(zhì)量流量控制器SEC-N100
質(zhì)量流量計/控制器 相關(guān)產(chǎn)品
HORIBA MV-2000 系列混合注入系統(tǒng)液體汽化器
HORIBA堀場電容壓力計VG200
HORIBA堀場質(zhì)量流量控制器E40V/E50V
OMEGA奧米佳 FMA1700A_1800A經(jīng)濟型氣體質(zhì)量流量計，用于潔凈氣體（帶可選的一體式顯示屏）
HORIBA堀場 相關(guān)產(chǎn)品
HORIBA GR-511F 晶圓背面冷卻系統(tǒng)
HORIBA熱式質(zhì)量流量控制器S48-28/HMT
產(chǎn)品分類
產(chǎn)品品牌
壓力
質(zhì)量流量計/控制器
流量計
風(fēng)速傳感器
風(fēng)速與風(fēng)洞
空氣質(zhì)量
管件接頭
閥門
1寸以上管件
不銹鋼管
溫度
溫濕度傳感器
液位/料位
實驗儀器
粉塵濃度儀
過程控制
數(shù)據(jù)測試
滅菌器
恒溫箱
干燥箱
馬弗爐
恒溫水槽
水循環(huán)裝置
培養(yǎng)箱
